产品名称：Diener等离子清洗机Femto
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Diener等离子清洗机FemtoFemto 等离子系统可以组合成不同的派生型，例如组合成模块系统。下面是能够与 Femto 等离子系统组合使用的常见选装件的概览。Femto 等离子系统主要应用于以下领域：分析、考古、汽车、研究和开发部门、半导体技术、小批量生产、塑料技术、微系统技术、传感技术、纺织技术。基本单元：根据具体组件/选装件，外壳会有所不同。腔室容积：根据具体版本，分为 1.9 - 6 升。供电电源：台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位。真空腔室：圆形不锈钢，带盖（约 ? 100 mm，长 278 mm 或长 600 mm）。矩形不锈钢，带铰链的门（约宽 103 x 深 285 x 高 103）。矩形铝材，带铰链的门（约 ? 103 mm x 103 mm，长 280 mm 或长 600 mm）。圆形石英玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ? 95 mm，长 280 mm 或长 600 mm）。圆形硼硅玻璃 (UHP)，配有盖子或者带铰链的门（约 ? 95 mm，长 280 mm 或长 600 mm。装载件：产品支架（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、 铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃。电极：单层或多层、RIE。控制系统：半自动型、旋转开关、PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)、PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)。真空计：Pirani、电容式压力计（适用于腐蚀性气体版本）。计时器：数字。发生器。频率：40 kHz：功率 0 - 100 W；0 - 1000 W。100 kHz：功率 500 W。80 kHz：功率 1000 W。13.56 MHz： 功率 0 - 200 W。2.45 GHz：功率 0 - 100 W；0 - 300 W。所有发生器均为 0 - 100.% 无级可调型。真空泵：排气速度不小于3m3/H。其它选项：备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。Diener等离子清洗机Femto
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