产品名称：等离子清洗机
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等离子清洗机Tetra45 等离子系统可以组合成不同功能的机型，例如组合成模块系统。下面是能够与 Tetra45 等离子系统组合使用的常见选装件的概览：Tetra45 等离子系统主要应用于以下领域： 分析、 考古、汽车、研究和开发部门、半导体技术、小批量生产、塑料技术、微系统技术、传感技术、纺织技术等。基本装备：根据具体组件/选装件，外壳规格会有所不同。腔室容积：根据具体版本 45 - 90 升。供电电源：立式设备为 400 V/3 相位。气体供给：针型阀、质量流量控制器 (MFC)。真空腔室：矩形，铝，带铰链的门，（宽 572 mm x 深 650 mm x 高 125 mm）。装载件：产品支架（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃 。电极：单层或多层、RIE。控制系统：PCCE 控制系统 (Microsoft Windows CE)。PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)。压力测量：Pirani/电容式压力计。计时器：数字式。发生器：80 kHz：功率 1000 W。13.56 MHz：功率 0 - 600 W；0 - 1000 W。2.45 GHz：功率 0 - 850 W。所有发生器均为 0 - 100.% 无级可调型 。其它选项：备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、法拉利笼、等离子体聚合配件、测试墨水、氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM 样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。等离子清洗机
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