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视频作者:北京晓韬科技有限公司
体积流量的表示方法
对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用,但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数, 可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
需要注意的是,流量计控制模块价格, 被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位, 不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位(Kg/min), 但是它符合国际半导体协会制定的SEMI。
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质量流量控制器在高压条件下如何使用
质量流量控制器的工作压差范围通常比较小, 要在高压条件下正常使用需要特别注意三点:1, 是要选择耐压符合要求的MFC; 2, 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 3, 要在MFC气路前面加减压阀, 稳定入口气压,流量计控制模块, 在MFC下游加背压阀, 稳定反应室和MFC出口的气压,流量计控制模块多少钱, 适当调节减压阀和背压阀, 要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点, MFC就能够在高压条件下稳定工作。
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电磁流量计流体控制注意事项
在工作时,流量计控制模块公司,铂丝检测元件用直流电流加热,温度大概比液体温度高出20°c左右,流量计的流体流经发生体时,在发生体两侧产生交变的压力差,在此压力差的作用下,流体产生吸入、吹出作用,导致热丝温度降低,引起它的电阻减小,从而破坏测量电桥平衡,输出电压信号。
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