真空箱氦检漏系统
性能特点：
高灵敏度小可检漏率:5x10-12Pa-m3/s，R22:0.1克/年。
干式检漏，检漏后试件无需进行干燥。
全自动压力监测，氦质谱真空检漏，系统自动补充高纯氦气。
氨气回收率高达98%以上
。 多独立工位和管路设计， (两箱/三箱)交替工作。
微电脑控制，全自动检测，避免产生误检和漏检。
人机交互界面，实时监测及诊断。
自动判断，声光提示。
输出设备，全数字显示检测结果。
，系统采用配置 确保，自动故障检测。
可实现远程监控 统计分析 打印标签等功能。
高密封性能
专门设计工装夹具，满足氦检漏工艺的密封要求。
真空箱氦检漏系统
性能特点：
高灵敏度小可检漏率:5x10-12Pa-m3/s，R22:0.1克/年。
干式检漏，梅州真空箱氦检漏系统，检漏后试件无需进行干燥。
全自动压力监测，系统自动补充高纯氦气。
氨气回收率高达98%以上
。 多独立工位和管路设计， (两箱/三箱)交替工作。
微电脑控制，全自动检测，避免产生误检和漏检。
人机交互界面，实时监测及诊断。
自动判断，声光提示。
输出设备，全数字显示检测结果。
，系统采用配置 确保，自动故障检测。
可实现远程监控 统计分析 打印标签等功能。
高密封性能
专门设计工装夹具，满足氦检漏工艺的密封要求。
氦质谱检漏仪工作原理
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器。
灯丝热发射出来的电子经加速进入电离室，在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于受到磁场力（洛伦兹力）的作用产生偏转，真空氦质谱检漏仪，形成圆弧形轨道。
真空箱法检测特点优点：灵敏度高；检测结果明确；自动检测，不依赖操作者经验；干式检测；节拍快，技术成熟。缺点：初始成本投入高；在正常的检测循环中不能确定漏孔位置。
标准漏孔的概念及作用标准漏孔的概念
（1）标准漏孔是一个在给定条件下能向真空系统内提供已知的气体流量的装置；
（2）标准漏孔是用来校准检漏仪的灵敏度和标定检出漏孔的大小的一种装置；
（3）标准漏孔与检漏仪的关系：如果把检漏仪看成是天平，则标准漏孔就是砝码。标准漏孔在真空箱法氦质谱检测中的应用：（1）用于检漏仪校准；（2）用于系统校准以及系统灵敏度变化的日常检查。
背压法氦质谱检漏
采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，真空箱氦检漏系统维修，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。
背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。
背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。
背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏
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