氦质谱检漏仪工作原理
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器。
灯丝热发射出来的电子经加速进入电离室，在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于受到磁场力（洛伦兹力）的作用产生偏转，形成圆弧形轨道。
真空箱法检测特点优点：灵敏度高；检测结果明确；自动检测，不依赖操作者经验；干式检测；节拍快，技术成熟。缺点：初始成本投入高；在正常的检测循环中不能确定漏孔位置。
标准漏孔的概念及作用标准漏孔的概念
（1）标准漏孔是一个在给定条件下能向真空系统内提供已知的气体流量的装置；
（2）标准漏孔是用来校准检漏仪的灵敏度和标定检出漏孔的大小的一种装置；
（3）标准漏孔与检漏仪的关系：如果把检漏仪看成是天平，则标准漏孔就是砝码。标准漏孔在真空箱法氦质谱检测中的应用：（1）用于检漏仪校准；（2）用于系统校准以及系统灵敏度变化的日常检查。
真空箱氦检漏的特征和优点
1、高压氮气强度检测真空箱内进行，保护操作者安全
2、真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏的准确性、。
3、检漏仪的自动校准功能以及自动校准程序，可随时校准检漏仪的灵敏度、准确度。
4、特殊设计的检测程序判断出具体的有漏工件，并通过灯光和液晶操作屏显示出来。
5、技术的密封接头，三明真空箱氦检漏系统，减少误判。
6、电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，真空箱氦检漏系统生产厂家，确保了系统的操作安全及可靠运行。
7、PLC控制，使系统运行清晰明了，实现了实时监测及控制。
真空系统严密性差的危害
汽轮机真空严密性差的危害主要表现在以下三个方面：一是真空严密性差时，漏入真空系统的空气较多，射水抽气器或水环真空泵不能够将漏入的空气及时抽走，机组的排汽压力和排汽温度就会上升，这无疑要降低汽轮机组的效率，增加供电煤耗，并可能威胁汽轮机的安全运行，另一方面，由于空气的存在，真空箱氦检漏系统哪家好，蒸汽与冷却水的换热系数降低，导致排汽与冷却水出水温差增大。二是当漏入真空系统的空气虽然能够被及时地抽出，但需增加射水抽气器的负荷，浪费厂用电及循环水。三是由于漏入了空气，真空箱式氦检漏系统，导致凝汽器过冷度过大，系统热经济性降低，凝结水溶氧增加，可造成低压设备氧腐蚀。
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