真空系统的结构是影响真空系统密封性和系统漏气率的关键，真空系统的结构合理与否，将直接影响系统的密封性和系统的漏气率。
1、尽可能地避免出现小曲率半径的死角，要光滑过渡查刹于打麈抛光、清洗清扫。
2、抽空管道、送气管道等与真空室相连接的管道，采用圆弧过渡，使气路畅通无阻，但要考虑清洗清扫的方便性。
3、认真设计真空室内各种连接件的结构，使气路畅通，避免气路堵塞。
4、打磨抛光真空系统内表面，表面越光亮就越不易气体吸附，越容易获得真空。
5、尽可能减小真空室的体积，缩短管路系统。
密封形式的选择
密封形式可根据所需真空度的高低及实际工作需要选择密封形式。
密封部位进行水冷后，其温度在80℃左右，个别处温度可达100℃以上)。所以，深圳真空箱氦检漏系统，要选择比较理想的密封圈材料。
用于真空密封橡胶材料，除要求具有光洁表面、无划伤、无裂纹外，还要求有低的渗透率和出气率，良好的耐热性耐油性，同时要有一定的强度、硬度和弹性等。
检漏
1.真空计测漏
一般的真空计测漏是用酒精作为检漏液。测漏时在有漏的地方喷洒酒精，若酒精喷洒在漏气处时，真空计会显示压力下降然后再上升的现象。这是因为酒精进入漏气处暂时有堵漏的作用，故真空系统压力下降。当酒精穿过漏气处到达真空系统内部会立即变成蒸气，故真空系统中的压力再上升。
2.检漏仪测漏
将检漏仪接入设备的抽气管路。设备先由泵抽气到检漏仪工作压强，真空氦检漏系统，然后切换到检漏仪。然后向怀疑有漏的地方喷吹氦气，若有漏气，则检漏仪的显示会有明显变化。真空检漏技术
氦质谱检漏仪
氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点，真空检漏技术
工作原理：
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，氦检漏回收系统，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器，如图3所示。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
氦质谱检漏仪工作原理
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器。
灯丝热发射出来的电子经加速进入电离室，在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于受到磁场力（洛伦兹力）的作用产生偏转，形成圆弧形轨道。
真空箱法检测特点优点：灵敏度高；检测结果明确；自动检测，不依赖操作者经验；干式检测；节拍快，技术成熟。缺点：初始成本投入高；在正常的检测循环中不能确定漏孔位置。
标准漏孔的概念及作用标准漏孔的概念
（1）标准漏孔是一个在给定条件下能向真空系统内提供已知的气体流量的装置；
（2）标准漏孔是用来校准检漏仪的灵敏度和标定检出漏孔的大小的一种装置；
（3）标准漏孔与检漏仪的关系：如果把检漏仪看成是天平，则标准漏孔就是砝码。标准漏孔在真空箱法氦质谱检测中的应用：（1）用于检漏仪校准；（2）用于系统校准以及系统灵敏度变化的日常检查。
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