真空应用设备哪些部位容易出现泄漏，应该如何检漏？
检漏技术在真空领域占有非常重要的地位，它关系到真空设备的各项真空指标，如何快速地找到漏点关系到企业的生产效率与经营成本。氦质谱检漏仪是第二次期间快速发展起来的一种高精度检漏仪，其灵敏度高达10-15Pa·m3/s。当今常见的氦质谱检漏仪灵敏度在10-9~10-13Pa·m3/。
一、氦质谱检漏仪是如何工作的？
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的，我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。
在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成束，并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。利用弱电流量测设备，真空箱氦检漏系统批发，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束
真空严密性试验技术指导（汽机定期试验）
1、操作危险点、安全措施和注意事项（按工作顺序填写与执行）：
试验时，如真空下降至85kPa或低压缸排汽温度超过57℃，应停止试验，启动真空泵运行，恢复正常运行方式。
试验时当凝结水温度大于45℃时，应及时通知化学注意精处理运行情况。当凝结水温度大于50℃时，应及时通知化学退出精处理运行。
2、试验方法及步骤
得值长令，##号机组真空严密性试验。
确定 ##号机组负荷大于80%，运行正常。
确定 ##号机组凝汽器真空应大于90kPa以上。
确定真空泵良好，维持二台运行，真空箱式氦检漏系统，一台作备用。
确定有关真空数值（就地、LCD及DEH）显示均正常。
解除机组协调控制，且锅炉燃烧稳定。
记录机组负荷、凝汽器排汽温度、凝结水温度、真空等有关数据。
解除备用真空泵的联锁。
关闭两台运行真空泵入口碟阀，并停止两台运行真空泵，30秒后开始记录，每30秒记录一次真空值。
8分钟后试验结束，立即启动两台真空泵运行，检查入口碟阀联开正常。
取其中后5分钟内的平均值算出真空平均下降速度。真空严密性试验结果（ ）kPa/min，试验结果（ ）。
试验时，如真空下降至85kPa或低压缸排汽温度超过57℃，应停止试验，启动真空泵运行，恢复正常运行方式。
试验结束，汇报值长并做好凝汽器真空严密性试验结果的分析和记录。
背压法氦质谱检漏
采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，真空箱氦检漏系统，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。
背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。
背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。
背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏
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