氦质谱检漏仪的结构
分析器
分析器作用是使不同质荷比的离子按不同轨迹运动，从而将它们彼此分开，进口氦质谱检漏仪检漏仪，仅使氦离子通过其出口隙缝。分析器由一个外加均匀磁场及一个出口电极组成，如图4所示。磁场方向与离子束入射方向垂直。
由离子源出来的离子束射入它垂直的磁通密度为B的均匀磁场分析器中后，由于分析场中电场为零，所以离子仅受磁场的洛伦兹力作用而作半径为R的圆周运动。偏转半径R与质荷比M/Ze有关，当B及U一定时，相同质荷比的离子具有相同的运动半径，不同质荷比的离子将以不同的半径偏转而彼此分开。质荷比小的偏转半径小，质荷比大的偏转半径大。在偏转180°处，用一分析器出口电极将其他离子挡住，而使氦离子轨道对准出口电极上的狭缝，氦离子穿过狭缝到达离子收集极形成氦离子流。
氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
正压漏孔的校准
正压漏孔校准装置一般采用定容法和恒压法两种工作原理。在此基础上又研究了累积比较法、标准气体法、流量比较法、压力比较法、质谱计法等各种方法，但都以定容法和恒压法为基础。1997年美国材料和测试学会“校准气体参考漏孔的标准规范”。该规范毛细管—水柱位移法为恒压法，气体累积法为定容法。欧洲标准化1995年(CENTC138WFG/6n3rev3)也采用类似毛细管—水柱位移法。瑞士Balzers公司在1995年建立了基于恒压法的正压漏孔的校准系统。我国是采用恒压法测量，测量范围10-7—10-5Pam3/s。我们采用质谱比较法校准，准确数据由510所科委计量站提供。
真空漏孔用于正压时，揭阳检漏仪，该漏孔的标定值要改变。正压检测漏率范围10-3—10-8Pam3/s是过渡流。过渡流的计算较复杂，如用真空漏孔替代正压条件进行换算，汽车检漏仪检漏仪，工程应用上较为不便，因此必须正压检漏时用正压标准漏孔做比较准。正压漏孔在使用时，其供气压力氦气浓度应一致。正压漏孔的研究国内外起步均比较晚，但它已在大型燃料贮箱、运载火箭氢氧系统成功应用。但是正压漏孔的制作、校准、应用与其气流特性均需在实践中进一步完善发展。
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