氦质谱检漏仪的结构和工作原理
氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1 优于200 Pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，防水检漏仪检漏仪，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20 Pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s[1]。
氦质谱检漏仪是一种用氦气作为示漏气体进行泄漏检测的仪器，具有性能稳定、灵敏度高等特点。在真空检漏技术中，采用的是通用型检漏仪器，具有较高的灵敏度。
氦质谱检漏仪是磁偏转式质谱分析仪。单级磁偏转换仪是一种灵敏度较高的仪器，广泛应用于检测各种真空系统和零件的漏电，具有很好的实用价值。双层串联磁偏变装置与单层磁偏变装置相比，背景噪声明显降低，其灵敏度可达到10-14~10-15Pam3/s，适用于超真空系统、元件和部件的检漏。逆电流式氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，将检件放置在检漏仪主抽泵的前级部位，因而具有在高压条件下能检漏，不会造成液氮污染和质谱室污染等特点.适用于对大漏率、真空环境卫生较差的真空系统的检漏，灵敏度可达10-12Pam3/s。
检漏范围宽：现今生产的四极检漏仪，质量范围很宽，不仅可检测氦气，而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统，不仅解决了油蒸气对质谱室的污染问题，而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同，分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。例如可通过采用改变分子泵转速来达到此目的，进口检漏仪检漏仪，且提高检漏灵敏度。另外，逆扩散检漏方式，实现了高压强下检漏，也为正压吸检漏提供了良好的条件。
02氦质谱检漏仪行业应用
氦质谱检漏仪的应用已从科学院、大专院校、实验室及少数科研机构走向工矿企业，自动检漏仪检漏仪，甚至乡镇企业、个体企业，可以说应用领域极其宽广。
（1）航空航天高科技工业
（1）例如火箭发动机及姿态发动机，过去是打压刷肥皂水检漏，现在重新改进工艺用氦质谱检漏仪检漏，采用正压与氦罩法结合，使检漏灵敏度大大提高，从而保证了发动机质量。火箭箭体的检漏采用正压、氦罩法、累集法等几种方法的结合。由于检漏技术的应用，提高了检漏灵敏度，弥补了吸入法检漏时仪器灵敏度低的不足。
（2）KM6空间环模装置设备庞大，主真空室直径12m、高22m，另外有辅助真空室和载人舱等。容积3500m3，分系统多，结构复杂，各种接口焊缝相加有几千米长，采用氦质谱检漏仪负压检漏，每条焊缝由检漏盒密封，配以铺助抽气系统将盒内抽低真空后，充入一定压力氦气，关闭预抽阀，开启检漏阀。由于盒内氦浓度较高，相对检漏仪又有一定压力，云浮检漏仪，因此有效提高了检漏灵敏度。
（3）航天工业中，各类阀门、电子元器件，传感器等等都在广泛应用氦质谱检漏仪及其检漏技术
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