可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高，然后用纯氦气或氦气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且应使设备内部至少含有10%-20%的氦气含量。于氦检是通过氦穿过漏孔来检漏的，所以焊缝表面若存有油污、焊渣以及设备内部的积水、污垢等都会使泄漏孔暂时阻塞而影响检测结果，因此，测试前必须设备内部清理干净及焊缝表面并用热风装置将设备内部干燥。检漏主要领域：电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统；电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路；
检漏仪自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。检漏仪由微机控制，菜单的选择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。氦气检漏仪关键零部件集优采购，保证了系统的稳定性和可靠性；真空箱内氦气本底抑零，保证了检漏的准确性、；
检漏仪对示漏气体的要求及选择：无害，不能对人体或环境造成伤害；质量轻，防水漏水检测仪器，惰性气体，穿透能力强，能穿透微小细缝；化学性质稳定，不会引起化学反应；据日本有关文章介绍，日本汽车制造业，已有30多种零部件在使用检漏仪检漏，解决密封问题。其中包括液压系统、制动系统、转向系统、避震系统、汽车轮毂。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
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