[供应]真空等离子清洗机设备

L-FM系列PCB线路板等离子机 

产品编号：JL-FM系列

产品规格： 线路板等离子清洗洁 

产品用途：等离子蚀刻，去胶渣，SMT，邦定,字符喷印前处理



PCB等离子清洗机产品参数



整机尺寸W*D*H

1700×1300×1800 mm

腔体尺寸W*D*H

1025*850*948 mm

腔体材料

进口316不锈钢

等离子发生器

10KW  40kHZ Camdel 美国

抽风系统

≥2立方/分钟，尾气处理管道即可

电极板数量

15层水平分布

处理层数

15层

单层处理面积

1030（W）*750（D）mm （可定制）

单次处理时间

3-30分钟不等（根据产品特征，时间设定不同）

工作真空度

10～60Pa （可根据要求设定，可恒定真空度）

泵可抽极限压力

≤1Pa

抽真空时间

90s以内

破真空时间

≤15s

工艺气体

CF4 O2N2ArH2

供气方式

高压瓶装气体14MPa，减压至0.1-0.3MPa

流量计调节范围

0-2000ml/min/全自动调节

温度控制调节范围

3匹速冷，30-85℃可调

真空泵系统

1级机械旋片真空泵+2级罗茨泵

真空测定系统

日本爱发科皮拉尼高精密电阻式真空计

真空供气系统

Ф6全不锈钢管+不锈钢锁套管路

真空排气系统

全不锈钢管路+波纹管+2级过滤装置

破真空系统

真空角阀

PLC自动控制

三菱

人机工控系统

MCGS

变频控制系统

台湾台达，PID闭环控制，真空度可维持

机台温控系统

冰水模温一体机，采用内部独立中通冰水循环冷却系统

输入气压监测系统

2路 日本SMC自动报警气压表

气体计量系统

SevenStar MFC气体质量流量计精确控制流量

冰水机（标配）

/

真空机组（标配）

300m3/H

系统重量

500KG

电源

AC380V，50/60Hz，三相五线100A 15KW

压缩空气要求

0.6～0.8MPa

循环冷却水用量

/

系统环境温湿度要求

温度：5℃~+25℃   相对湿度：80%（25℃）

环境压力

1.013×105pa


设备工作原理

PCB等离子清洗机主要是在密闭的真空反应腔体里面，通入特殊的反应气体，通过等离子体发生装置和独特的工艺控制系统，使等离子体与PCB线路板材料发生蚀刻，活化和改性作用，从而达到的工艺要求。

该设备主要由真空腔体及高频等离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下，利用真空泵将工作室进行抽真空达到0.15-0.3mbar的真空度，再在高频发生器作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态），然后利用等离子体对工件进行表面处理。等离子态显著的特点是高均匀性辉光放电，根据不同气体发出从蓝色到深紫色的色彩可见光，材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用，得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。



应用领域

PCB等离子清洗机设备是专门为印刷电路板PCB行业研发的设备，以满足高到低的PCB制造生产需求。目前广泛应用于：

FPC/PCB 孔壁凹蚀 / 去除孔壁树脂钻污

PTFE&聚四氟乙烯材料的活化处理

碳化物去除

PCB板内层预处理

化学沉金/电镀前手指、焊盘表面清洁

SMT前焊盘表面清洁cleaning

PCB板BGA封装前表面清洗

去除电镀夹膜