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这种分子泵的维护可具体分为：1）牵引分子泵气体分子与高速运动的转子碰撞以获得动量，并被驱动到泵出口。 2）涡轮分子泵通过与高速旋转的动叶片和固定的固定叶片配合实现抽气。 这样的泵通常以分子流动状态运行。 3）复合分子泵它是由两个涡轮泵和牵引泵串联而成的复合分子真空泵。
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涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高，可达10^-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异，一般在1-200Pa之间，可采用机械泵作为前级泵，高真空机组是由分子泵和机械泵组成的。由于涡轮分子泵的转速高，通常用中频电机带动，Agilent分子泵销售维修联系方式，中频电源的频率在300-400Hz之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。
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叶轮锁母越紧越好。机械密封泄漏中，轴套与轴之间的泄漏（轴间泄漏）是比较常见的。一般认为，轴间泄漏就是叶轮锁母没锁紧，其实导致轴间泄漏的因素较多，如轴间垫失效，偏移，轴间内有杂质，轴与轴套配合处有较大的形位误差，接触面破坏，轴上各部件间有间隙，轴头螺纹过长等都会导致轴间泄漏。
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分子泵叶片破碎的原因：
是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的，另外掉进去的东西不一定要多大，但如果硬度够了一样会造成伤害，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装，避免异物掉入。
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涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状，在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时，叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转，其周边的线速度一般200~300m/s，相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空，涡轮分子泵中装有多级。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。因此，涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出极为有效。例如对于氮气，其压缩比可以达到109 但是涡轮分子泵抽除分子质量较小的气体能力较差，例如氢气，其压缩比仅有103 。
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新设计了独立和一体式控制器，还开发了全新的智能控制软件。新的控制软件使用智能算法根据气体负载的变化和实时温度，自动调整泵的功率，并且为三种典型气体分别做了专有的控制曲线。控制器新增加的主动刹车功能可在不破空的情况下快速停机，节省工艺时间并尽可能的缩短分子泵在共振区停留的时间，延长了轴承寿命。
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