不同材料的表面与等离子体的相互作用从技术和基础知识的角度提出了兴趣。在许多情况下，低温等离子除臭设备，等离子体带来的变化可以改善材料的许多表面特性，低温等离子设备生产厂家，例如粘附性，润湿性，润滑性等，低温等离子设备，这有利于它们在各种领域中的应用：微电子学，薄膜技术，生物医学等。
虽然氧化等离子体具有极强的化学反应性，但它具有某些特性，这些特性使其不仅可以通过蚀刻和溅射去除材料，还可以驱动和维持等离子体暴露表面中各种纳米结构的成核和生长。
等离子废气处理设备是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，低温等离子，气体分子被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
在发动机中，这种惰性排气取代了汽缸中的一定量的可燃物，有效地减少了可用于燃烧的燃料量而不影响空燃比。在柴油发动机中，废气取代了预燃混合物中的一些过量氧气。
因为NOx主要在氮气和氧气的混合物经受高温时形成，所以由EGR引起的较低燃烧室温度降低了燃烧产生的NOx的量。从EGR系统重新引入的气体还含有接近的NOx和CO浓度；在燃烧室内的小部分在平均时间采样时抑制这些和其他污染物的总净产量。不同燃料的化学性质限制了可以使用多少EGR，
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