超声波是频率大于10kHz 的声波。超声波同普通声波一样属于纵波。超声波与传声媒质相互作用蕴藏着巨大的能量，记忆棉微波杀菌设备，当遇到物料时就对其产生快速交替的压缩和膨胀作用，这种能量在极短的时间内足以起到杀灭和破坏微生物的作用，鹤壁微波杀菌设备，而且还能够对食品产生诸如均质、催陈、裂解大分子物质等多种作用，具有其他物理灭菌方法难以取得的多重效果
加热本身亦有抑菌作用，不同的设备加热方式不同，但一般多为无菌热空气加热。典型的系统有瑞典2公司的2无菌填充系统、国际纸业的无菌填充系统、德国PKL公司的Combiloe无菌填充系统2氧水+紫外线，即采用低浓度2氧水(<1%)溶液，加上高强度的紫外线辐射灭菌处理，从而取得良好的灭菌效果，它比用2氧水结合加热处理的灭菌效力更显著
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