太阳电池经过制绒、扩散及PECVD等工序后,已经制成PN结,可以在光照下产生电流,为了将产生的电流导出,需要在电池表面上制作正、负两个电极。制造电极的方法很多,而丝网印刷是目前制作太阳电池电极最普遍的一种生产工艺。丝网
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这样就在硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2,称之为磷硅玻璃。去磷硅玻璃的设备一般由本体、清洗槽、伺服驱动系统、机械臂、电气控制系统和自动配酸系统等部分组成,主要动力源有酸、氮气、压缩空气、纯水,热排风和废水。氢能够溶解二氧化硅是因与二氧化硅反应生成易挥发的四气体。若氢酸过量,反应生成的四会进
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使用不止一组切割切割线是在保持速度的前提下提高机台产量的一个创新方法。应用材料公司最的MaxEdge 系统采用了独特的两组独立控制的切割组件。MaxEdge是业界一个专门设计使用细切割线的线锯系统 ,最可达到80μm。相对于业界先的应用材料公司HCT B5线锯系统,这些改进减少了硅料损失使产量提高多达50%。
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