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乱流式(Turbulent Flow)层流式(Laminar)复合式(Mixed Type)气流的重要性风速的控制影响因素
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,洁净室,000-100,吴江洁净室,000级。
洁净室的地板系统除了需要给在这个区域工作的人们提供稳定的立足点外,还要提供更多东西,例如把洁净的空气送入房间,支撑加工艺设备,为必要的设备维修提供方便的通道,并且还要具备坚固的表面保证设备可以在上面进行改造。洁净室的地板也提供了电力系统的接地,起到传导和静电耗散的作用,消除ESD积累。
由于所有这些原因,洁净室的地板成为整个洁净室中最重要的组成部分。然而,很多设备经理或工具安装人员,在使用洁净室时都会碰到地板带来的麻烦。举个例子,人们要进入地板下面的空间时,就会认识到——由于公差过于精密——需要很大的力量才能打开地板块;然后,洁净室,在把地板块放回原处的时候,通常地板块无法完全复原,百级洁净室,不得不用脚用力在上面跺。而且,在使用工具翻开地板块的时候,经常会损坏它们。
洁净室按其气流状态来区分,主要分为乱流(非单向流)洁净室、单向流洁净室和辐流洁净室(也有称矢流洁净室的),这一节主要讨论乱流洁净室。前面已经指出,不论是哪一种洁净室,都是紊流流态。那为什么不都叫紊流洁净室呢?乱流洁净室的名称是借用于日文,但是日文的乱流就是紊流的意思,而中国最早在《空气洁净技术措施》中正式采用的乱流一词是兼有紊流的含义而不同于流体力学上的紊流这一专有名词。国际上习惯称这种洁净室为非单向流洁净室。
所谓乱流洁净室,一般包括以下各种送风形式:
⑴高1效过滤器顶送(有扩散板和无扩散板
⑵流线型散流器顶进
⑶局部孔板顶送
⑷侧送
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