电解法就是将干燥剂吸收的水分经电解池电解成氢气和氧气排出，电解电流的大小与水分含量成正比，通过检测该电流即可测得样气的湿度。该方法弥补了重量法的缺点，成都密析尔露点仪，测量量程可达-80℃以下，且精度较好，价格便宜；缺点是电解池气路需要在使用前干燥很长时间，且对气体的腐蚀性及清洁性要求较高。采用该方法的仪器较多，典型的是美国Edgetech 公司的1-C型微水仪和杜邦公司的M303及国产的USI系列产品。
金属氧化物传感器（包括AL2O3传感器），Easidew在线露点仪，用于工业过程控制中的低露点测量。此种测量法在正确使用时可以测得很低的露点，其缺点是长期稳定性差。由于测湿敏元件本身造成的漂移，使得频繁的标定工作必不可少，露点仪，而且传感器不能在线标定，大多数情况下要送到原厂标定，且标定成本较高。这将会影响日后的准确测量、正常生产，增大了维护工作量。金属氧化物传感器在高湿或冷凝的情况下一旦受损，其功能将无法恢复。
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